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半导体测试分类：工艺过程操纵和ATE

半导体的临盆进程分为前道工艺和后道工艺，此中，前道工艺包罗光刻、蚀刻、镀膜等；然后道工艺则以半导体的封装测试为主。

1、工艺过程操纵

前道工艺探测（又称工艺过程操纵）要紧包罗：

（1）OCD构造探测，譬喻形态、线宽、膜厚等；

（2）晶圆缺点性探测，譬喻晶圆片的滑腻度、曲翘度等；

（3）小类别的探测，譬喻电阻率的测试等。

工艺过程操纵贯通集成电路临盆线，可细分为检讨、衡量和收益操纵。工艺过程操纵所用的探测装备包罗工艺参数治理系统、光刻进程操纵系统和收益剖析软件系统。工艺过程操纵系统要紧对工艺过程参数、光刻装备的褂讪性施行探测，系统装备纪录每一类晶体管参数并生成响应的receipt，结尾将receipt输入到已调试好的装备中多量量临盆芯片。

今朝，工艺过程操纵装备的要紧供给商有美国的KLA-Tencor（KLAC），运用材料（AMAT）和日本的HitachiHigh-Technologies（日立）。

2、ATE

前道工艺实行后，加入半导体封装测试的第一站：中测（CircuitProbing）,CP搭配应用集成电路测试机和探针台对每一粒芯片施行电压、电流、时序和成效的衡量。中测后，品质过关的芯片会施行封装等工艺，结尾加入FinalTest（FT）。CP和FT应用的测试机无很大不同，统称主动测试装备（ATE）。

今朝，ATE墟市根本被美国的Teradyne，Xcerra和日本的Advantest独霸。

半导体探测墟市范围猜度超出亿美元

咱们预算到-年，寰球半导体探测装备墟市范围可抵达亿美元，一种法子是，能够按照KLA-Tencor今朝的谋划范围和市占率，盘算工艺过程操纵的墟市范围在60-70亿美元，按照泰瑞达和爱德万的收入范围和市占率，盘算ATE的墟市范围在40亿美元；另一种法子，按照Gartner数据显示，年半导体探测墟市范围约60亿美元，参考半导体装备行业近2-3年累计增速60%左右，可预算寰球半导体探测装备墟市范围也在亿美元左右。

1、半导体装备行业：正处于高速延万古期，受益半导体行业装机大年

按照SEMI猜度，年半导体装备墟市范围期盼抵达亿美元，创下史书新高，同比延长36%；年期盼抵达亿美元的范围，同比延长8%。寰球半导体装备投资额呈上涨趋向。

图表1.寰球半导体装备投资额呈进取延长趋向

材料原因：CSIA、中银证券

2、半导体探测装备行业：猜度墟市范围超亿美元，占整体半导体装备的15%-20%

按照Gartner、Semi等的统计数据，年工艺过程操纵的墟市范围约为40亿美元，ATE探测墟市范围约为20亿美元，共计60亿美元，占整体半导体装备行业的18%。而SEMI猜度的年亿美元范围，参考年探测占比18%，则年半导体探测墟市范围亿元。

其它，参考年要紧半导体探测企业的收入范围和市占率，也可预算半导体探测墟市范围也超出亿美元。

图表2.年寰球半导体探测墟市范围测算

材料原因：公司布告，Gartner，中银国际证券

半导体探测装备行业格局：高度寡头独霸

从寰球控制看，半导体测试装备处于寡头独霸场合排场。此中，工艺过程探测装备要紧被KLAC独霸，ATE要紧被Teradyne和Advantest独霸。

1、工艺过程探测装备的比赛格局

参考年Gartner数据，工艺过程探测墟市中，KLAC市占率为50%位居第一位，AMAT市占率12%左右位居墟市第二，日立的市占率10%左右位居墟市第三。

图表3.半导体探测墟市中工艺过程操纵比赛格局（%）

材料原因：Gartner、中银证券

半导体工艺过程操纵探测又可细分为光罩探测、薄膜探测、光学探测、晶圆缺点探测、宏观缺点探测、图象晶圆探测等，此中晶圆缺点探测占对照高。

图表4.工艺过程操纵探测装备产物构造（百万美元）

材料原因：Gartner，中银证券

KLAC熟稔业内所处的独霸身分，包罗在晶圆缺点探测方面，KLAC攻下寰球超60%的墟市份额。

图表5.年进程探测KLAC墟市占比（%）

材料原因：Gartner，中银证券

2、ATE的比赛格局

参考年Gartner数据，ATE墟市中，Teradyne市占率为45%位居第一位，Advantest市占率44%位居墟市第二，Xcerra的市占率6%左右位居墟市第三。

图表6.半导体检侧墟市中ATE比赛格局（%）

材料原因：Gartner、中银证券

半导体测试细分为：SOC测试，RF测试、MemoryIC测试和AnalogIC测试。此中SOC测试占到ATE的60%，MemoryIC和RF测试装备各占15-20%。

图表7.半导体探测装备产物构造（百万美元）

材料原因：Gartner，中银证券

ATE供给商产物上风各不雷同。此中，Teradyne在SOC、RF测试装备周围攻下绝对墟市份额，爱德万则在MemoryIC测试装备周围攻下绝对墟市份额，而LTX-Credence在AnalogIC测试装备方面维持上风。

图表9.年半导体探测泰瑞达、爱德万和Xcerra墟市占比（%）

材料原因：Gartner，中银证券

国内半导体探测装备势力有待升高

在测试装备细分周围，今朝国内墟市仍要紧由美国泰瑞达（Teradyne）、日本爱德万（Advantest）、美国安捷伦（Agilent）、美国科利登（Xcerra）和美国科休（Cohu）等国际著名企业所攻下。今朝以长川科技、北京华峰为代表的小量国产测试装备产物已加入国内封测龙头企业的供给商编制，但市占率很低，有很高的晋升起间。

图表10.半导体国产探测装备供给商

状况先容

比赛上风

谋划范围

长川科技

创立于年，以高功率芯片测试为主，大基金持股8%

高功率电子元器件探测

年收入1.8亿元

北京华峰

专心于半导体元器件测试挑选装备和专用智能化测试系统的研发、临盆和出售。已推出STS三大系列10多个型号产物，用户群要紧纠合在国防项目、民用电子、科研教化等周围。

要紧在电源治理周围

装备出售每年有20million，成本或许RMB万

上海中艺

创立于年4月，主生意务是集成电路测试、包装板滞装备，即分选机、编带机的研发、临盆和出售。公司范围较小，现有职工47人，此中研发工程师11人，在国内装机2台，要紧客户包罗华润团体、华天、日月光、中芯国际等。

要紧在电源治理周围

-

精测电子

TFT-LCD、OLED平面显示记号测试装备厂商，处于绝对抢先身分，产物包罗模组探测系统、面板探测系统、OLED探测系统、AOI光学探测系统、TouchPanel探测系统安乐板显示主动化装备

打算在储备周围进展

年收入9亿元

材料原因：公司网站，财产调研音信，公司布告，中银国际证券

精测电子进军半导体探测周围

精测电子主营平板显示探测系统的研发、临盆和出售。公司在国内面板探测周围处于龙头身分，是寰球唯独加入光、机、电、软、算等的探测装备供给商。在年胜利冲破array和cell制程AOI探测装备后，精测电子又一次冲破本身控制性进军半导体探测周围。

据Teradyne统计，今朝MemoryATE的墟市空间约在6-8亿美元，要紧被海外厂商霸占，此中Advantest占比约43%,Teradyne占比约24%。精测电子涉足半导体探测周围，期盼开垦在半导体探测墟市和完结国产装备的出口代替。

按照公司布告，公司拟与韩国ITT及其法人张庆勋共通设立合股公司-武汉精鸿电子技巧有限公司，主营半导体测试装备的研发、临盆、出售等效劳。此中，精测电子出资占比65%，ITT以学问产权出资占比25%，张庆勋出资占比5%。ITT为韩国ATE周围的领军企业，公司创立于年有超出10年的MemoryATE的研发阅历，CEO张庆勋占有30年ATE周围的研发和治理阅历。

今朝，国内的测试装备大多为电源治理，临盆储备器探测、集成电路启动探测和面板探测的厂家较少。精测电子期盼借助ITT在储备器探测周围的势力，挺近半导体探测周围，晋升装备的国产化率。（原因：中银板滞）

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