设备原理

俄歇电子能谱仪(AES）为微电子业常见的表面分析技术之一。原理是利用一电子束为激发源，使表面原子之内层能级的电子游离出，原电子位置则会产生空穴，导致能量不稳定，此时外层电子会填补产生之电洞，进而释放能量传递至外层能级电子，造成接受能量的电子被激发游离，游离的电子即为Auger电子。因其具有特定的动能，所以能依据动能的不同来判定材料表面的元素种类。

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仪器型号：PHI

生产厂家：日本ULVAC-PHI

应用领域

用于分析固体材料表面纳米深度的元素（部分化学态）成分组成，可以对纳米级形貌进行观察和成分表征。既可以分析原材料（粉末颗粒，片材等）均匀表面组成，又可以分析材料或特定产品表面缺陷如污染，腐蚀，掺杂，吸附、杂质偏析等，还具备深度剖析功能表征钝化层，掺杂深度，纳米级多层膜层结构等。

案例分析

下期预告：绝热加速量热仪（ARC）

下期预告：绝热加速量热（ARC）

服务流程01客户提出测试需求02TIES评估后出具报价03

客户确认报价、预付款项

04

客户寄送样品、回签报价

05

TIES收到样品后安排测试

06

发送报告

文/马璐视频/丁洁编辑/丁洁

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