青岛芯片产业再传好消息！近日，致真精密仪器（青岛）有限公司完成千万级天使+轮融资。此轮融资由启迪之星创投和柏彦基金联合投资，募集资金主要用于新产品研发、人才团队扩充和市场开拓等业务。启迪之星创投成立于年，是启迪控股旗下专注早期硬科技的投资管理平台。柏彦基金由北航优秀校友企业家与国内顶尖专业投资人共同创立于年，专注于战略新兴产业关键环节，核心技术和产业升级。

致真精密仪器是集成电路高端检测仪器供应商，是集成电路产业链国产替代中的重要一员。目前在磁性微电子测试设备领域国内领先，其研制的工业级晶圆磁光克尔测量仪打破了国外企业在该领域的垄断，填补了国内空白，标志着磁性芯片及传感器量产所需的光学检测设备从此实现自主可控。年9月获得青岛微电子创新中心近千万元天使轮融资。

借助资本的力量，致真精密仪器将由磁性芯片领域加快向更多细分领域拓展。

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85后“学院派”卡位集成电路测试设备赛道

致真精密仪器成立于年，由“85后”高校集成电路专业教师张学莹和其余4位志同道合的同事共同创立，目标成为中国集成电路测试设备的领军者。

集成电路测试设备属于芯片生产过程中的质量控制设备，也是全行业正在全力突破的“卡脖子”领域之一。芯片制造过程中的几乎每一道工序都要用到质量控制设备，用来对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性等做出量化描述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等。毫不夸张地说，质量控制设备水平的高低，直接影响着芯片性能的优劣。

随着全球集成电路产业加速向国内转移，我国也已经成为集成电路质量控制设备增长最快的市场。根据VSLIResearch统计，年至年国内市场规模年均复合增长率为31.6%，到年市场规模约为21亿美元，同比增长24.3%，在全球市场中的占比达到27.4%。

但与之相对的是高端设备国产化率仍然较低。市场主要由几家垄断全球市场的国外企业占据主导地位，其中美国企业科磊半导体在中国市场的占比高达54.8%。

“买来的仪器设备永远不可能变成自己的。我们不掌握它的核心原理，即使设备再先进，也很难让它发挥最优性能，做出一流成果。”在这种想法的驱动下，年轻的张学莹在科研和产业之间选择了后者，成为一名创业者。目前，公司研发团队已有30多人，其中博士占大半。

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3年7款设备问世，跑出行业加速度

“学院派”创业的致真精密仪器，依托高校的产学研深度合作优势，用令人刮目相看的速度在磁性芯片领域站稳了脚跟。

磁性芯片又称自旋电子芯片，主要分为传感和存储两大类，在大数据、消费电子等领域应用广泛。比如，手机导航软件中指示方向的箭头，就是依靠磁性芯片来完成信号识别的。

数据显示，目前全球磁性芯片市场规模约为25亿美元。虽然在全球超过亿美元的半导体市场规模中，磁性芯片作为细分领域市场规模仍然较小，但随着三星、英特尔、格罗方德等国际芯片大厂开始大规模量产磁存储芯片，市场年复合增长率达到%。

早在年，致真精密仪器研制出中国首款商用磁光克尔显微镜。产品不仅打破了国外垄断，还将光学、电学、磁学等技术集成在一台设备上，用户使用更方便且可以根据需求改装，价格也只有进口设备的一半。此后，致真精密仪器相继开发出高精度磁滞回线测量仪、晶圆级磁场探针台、微型MOKE磁性测量仪等产品。

前不久正式问世的国内首台产业级晶圆磁光克尔测量仪，进一步奠定了致真精密仪器在磁性芯片领域地位。磁性芯片生产过程中，需将磁性原子均匀铺在晶圆上形成纳米磁性薄膜。这相当于要在青岛的大地上平整铺满5层厚的小米粒。铺得是否平整，性能是否合乎质量标准？就要用到晶圆磁光克尔测量仪。此前，该领域一直被美国企业垄断。致真精密仪器的产品产业级晶圆磁光克尔测量仪的商业样机甫一上市，便有3家企业前来接洽。

目前，致真精密仪器的磁性芯片类产品已达7款。

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加快研发进度，抢抓时间窗口

虽然从磁性芯片量测设备切入，但通用测试设备才是张学莹和致真精密仪器的“诗和远方”。

“集成电路测试设备是一个由若干细分领域组成的市场，每一个都不太大，公司要很好地生存和发展，就必须要多个方向出击。”张学莹表示，而这也是国外多数集成电路检测设备企业一直在走的路径。

目前，国内越来越多企业正在进军半导体检测设备市场。

上市公司中精测电子、天准科技、赛腾股份等均有布局。成长型企业中，年底向科创板递交上市申请的深圳中科飞测科技股份有限公司就是其中之一。产品包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌测量设备系列和薄膜膜厚测量设备系列等，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。该公司年收入达2.37亿元。

在张学莹看来，行业的日益炙手可热也让致真精密仪器必须在产品研发上加快速度。“窗口期只有5年左右，如果步子慢了，就有可能在市场上彻底失去机会。”他说。

据介绍，今年致真精密仪器将在芯片通用测试设备开发上取得突破，争取4-5款产品问世。年，致真精密仪器已经实现营业收入万元，预计今年将比去年再翻两番。

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